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離子束濺射制備2Te3熱電薄膜 鄭壯豪 范 平 梁廣興 張東平 蔡興民 深圳大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，薄膜物理與應(yīng)用研究所 深圳市傳感器技術(shù)重點(diǎn)試驗(yàn)室，深圳，518060 本文采用離子束濺射技術(shù)交替沉積-Te-多層薄膜后進(jìn)行高
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