真空磁控濺射設(shè)備競(jìng)價(jià)公告
| 項(xiàng)目名稱 | 真空磁控濺射設(shè)備 | 項(xiàng)目編號(hào) | TYLGJJCG2022-0305 |
| 項(xiàng)目編號(hào) | TYLGJJCG2022-0305 | ||
| 公告發(fā)布日期 | 2022/12/05 16:31 | 公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 |
| 公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 | ||
| 采購(gòu)單位 | 太原理工大學(xué) | 付款條款 | 合同簽訂后預(yù)付合同金額的80%，貨到驗(yàn)收合格后一次性支付剩余款項(xiàng)。 |
| 付款條款 | 合同簽訂后預(yù)付合同金額的80%，貨到驗(yàn)收合格后一次性支付剩余款項(xiàng)。 | ||
| 聯(lián)系人 | 中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看 | 聯(lián)系手機(jī) | 中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看 |
| 聯(lián)系手機(jī) | 中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看 | ||
| 是否本地化服務(wù) | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采購(gòu)預(yù)算 | ￥198,000.00 | ||
| 送貨/施工/服務(wù)期限 | 合同生效之日起90日內(nèi) | ||
| 送貨/施工/服務(wù)地址 | 太原市萬(wàn)柏林區(qū)迎澤西大街79號(hào) | ||
采購(gòu)清單
1
| 采購(gòu)內(nèi)容 | 是否進(jìn)口 | 計(jì)量單位 | 采購(gòu)數(shù)量 | 售后服務(wù) | |
| 真空磁控濺射設(shè)備 | 否 | 套 | 1 | 1）所有儀器到達(dá)用戶指定地點(diǎn)后，技術(shù)工程師在接到用戶安裝調(diào)試要求10個(gè)工作日內(nèi)上門免費(fèi)安裝、調(diào)試。； 2）質(zhì)保期為儀器安裝驗(yàn)收合格后1年，質(zhì)保期內(nèi)，所有服務(wù)及配件全部免費(fèi)； 3）制造商應(yīng)終身負(fù)責(zé)維護(hù)維修。在用戶提出維修要求5個(gè)工作日內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)，及時(shí)幫助客戶解決問(wèn)題，并免費(fèi)對(duì)軟件進(jìn)行升級(jí)； 4）供貨商免費(fèi)提供現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)，同時(shí)應(yīng)提供2名（每臺(tái)套）廠家培訓(xùn)中心免費(fèi)培訓(xùn)名額。 | |
| 品牌及型號(hào) | 華析 （HC-300） 泰科諾（JCP350） | ||||
| 技術(shù)參數(shù)要求 | 1.真空磁控濺射設(shè)備主要由真空腔室、磁控濺射靶、電源、基片臺(tái)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏半自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。 2.真空腔室： 1）結(jié)構(gòu)：采用立式、圓柱體、氣缸助力上翻蓋結(jié)構(gòu)； 2）材質(zhì)及尺寸：采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼，Ф350×H350mm真空腔室；頂板焊水線； 3）腔室底部：2英寸圓形平面靶均勻分布；進(jìn)氣電磁截止閥；充氣閥； 4）腔室頂部：旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)；及自動(dòng)翻蓋機(jī)構(gòu)； 5）側(cè)部：DN150主抽氣口；前方配有一套觀察窗及擋板接口； 6）旋轉(zhuǎn)共濺射基片臺(tái)接口位于鍍膜室的頂部； 7）預(yù)留接口：裝膜厚儀以及其它用途； 8）Φ100mm觀察窗及擋板，位于前面； 9）腔室防污屏蔽板采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，便于拆卸清理、更換等。 3.基片臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu)，基片臺(tái)尺寸Φ120mm，最大樣品尺寸小于Φ120mm：配有氣動(dòng)基片臺(tái)擋板；配備通用夾具，方便用戶裝卡各種不同規(guī)格尺寸的基片；絕緣裝置：絕緣設(shè)計(jì)及絕緣件；基片臺(tái)電機(jī)驅(qū)動(dòng)：旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速0～20轉(zhuǎn)/分鐘，連續(xù)可調(diào)；主軸磁流體密封；加熱：基片臺(tái)環(huán)境溫度800℃，采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等；采用固態(tài)繼電器和PID可編程智能溫度控制儀方式，實(shí)現(xiàn)加熱溫度自動(dòng)控制。 4.濺射靶及電源：2只2英寸磁控濺射靶，靶角度、靶基距手動(dòng)可調(diào)，永磁間接水冷方式，兼容直流、脈沖、射頻等電源；靶基距調(diào)整范圍80～110mm，方便調(diào)整最佳鍍膜距離；直流脈沖濺射電源1kW，數(shù)字化控制及顯示，1臺(tái)；射頻電源RF500W， 數(shù)字化控制及顯示，1臺(tái)；脈沖偏壓電源：-1kV，數(shù)字化控制及顯示，1臺(tái)。 5.真空系統(tǒng)：復(fù)合分子泵：JTFB-600，抽速600L/s；直聯(lián)高速旋片式真空泵：TRP-24，抽速6L/s，合資品牌，抽速快，低噪音；前級(jí)/旁路閥：DN40，氣動(dòng)擋板閥；真空測(cè)量：“兩低一高”數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)。 6.工作氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器及量程范圍：Ar，100sccm；N2，20sccm；電磁截止閥：Φ6mm；混氣管：三進(jìn)一出。 7.氣路系統(tǒng)：電接點(diǎn)壓力表，用于氣體壓力保護(hù)報(bào)警；氣排，用于各閥門之間分氣使用。 8.電氣控制系統(tǒng)：1）采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)一鍵式抽真空；2）控制內(nèi)容：機(jī)械泵、前級(jí)閥的開與關(guān)；分子泵顯示及開關(guān)控制；真空計(jì)參數(shù)顯示及控制；基片臺(tái)轉(zhuǎn)速控制等；3）安全保護(hù)報(bào)警系統(tǒng)：在缺水、水壓過(guò)低情況下的報(bào)警系統(tǒng)；完善的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)。 9.含低噪音Ⅰ型空壓機(jī)一臺(tái)；含冷卻循環(huán)水機(jī)一臺(tái)。 10.機(jī)架控制柜：機(jī)架和控制柜一體化設(shè)計(jì)，碳鋼制作，底下配腳輪，方便移動(dòng)、定位。 | ||||
