【康沃真空網(wǎng)】一、項目名稱：原子層沉積設(shè)備
二、項目編號：S2022073
三、采購人：蘇州大學(xué)采購與招投標(biāo)管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓0904室
郵編：215021 傳真：0512-67165076
聯(lián)系人：丁老師 電話：0512-67504198，67504359
電子郵箱：dingy@suda.edu.cn
技術(shù)聯(lián)系人：彭老師 電話：0512-65880031，13862110936
電子郵箱：jpeng@suda.edu.cn
四、采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求
原子層沉積設(shè)備 1套
?。ㄒ唬┲饕阅軈?shù)要求
1. 工作條件
1.1 電源電壓：AC 380V±10%，50Hz，三相五線
1.2 滿足長時間連續(xù)工作（滿足7×24，即每周7天、每天24小時運行）
2. 設(shè)備基礎(chǔ)要求
2.1 主機(jī)
2.1.1樣品臺尺寸為φ200mm，高度可調(diào)，可放樣品高度為10mm
2.1.2配備4 路前驅(qū)體源管路，2路常溫源適用于飽和蒸汽壓較高的源，2 路可加熱源適用于需要加熱的固態(tài)或液態(tài)源，預(yù)留2路可加熱源位置用于擴(kuò)展
2.1.3配備1路H2O反應(yīng)物管路，反應(yīng)物管路配備1個進(jìn)口閥門，閥門最高耐溫150℃
2.2. 適用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工，設(shè)備運行過程中，整機(jī)外殼溫度均不高于60℃，以保證操作的安全性
2.3 真空腔
2.3.1 真空腔材質(zhì)為不銹鋼，腔體表面經(jīng)過電解拋光處理
2.3.2 樣品臺室溫至500℃可控，尺寸不小于φ200mm，可放樣品高度不小于10mm
2.3.3 腔體進(jìn)氣方式：前驅(qū)體蒸汽通過噴淋頭進(jìn)入真空腔，蒸汽自上而下流經(jīng)襯底
*2.3.4 腔體開關(guān)方式：可通過界面操作系統(tǒng)自動開關(guān)腔門，配備安全互鎖檢測功能，確保腔門在安全狀態(tài)下開關(guān)；耐腐蝕O-ring密封
*2.3.5 腔體具備快速開關(guān)真空隔離裝置，防止前驅(qū)體氣體和等離子體活性自由基交叉污染，避免污染電感耦合等離子體反應(yīng)裝置
2.3.6 真空腔體上方具備獨立的反應(yīng)氣擴(kuò)散區(qū)域，配備活動式結(jié)構(gòu)，腔體上方所有結(jié)構(gòu)可完全打開，便于清潔
2.3.7 反應(yīng)腔體內(nèi)部配備可更換式內(nèi)襯，維護(hù)時便于更換
2.4 氣路
*2.4.1 至少配備4路前驅(qū)體源管路：2路常溫源、2路加熱源（不低于150℃）；其中兩路常溫源管路需加配耐腐蝕微調(diào)閥
2.4.2 每個前驅(qū)體源氣路至少配備1個源瓶（≥250mL）和2個進(jìn)口閥門
2.4.3 閥門配備安全互鎖檢測功能，在真空腔門打開時處于強制關(guān)閉狀態(tài)，防止前驅(qū)體暴露在空氣中
2.4.4 至少配備1路反應(yīng)物管路，反應(yīng)物包含H2O，每路反應(yīng)物管路分別配備1個進(jìn)口閥門，閥門最高耐溫不小于150℃
2.4.5 反應(yīng)物H2O管路需加配微調(diào)閥且配備1個經(jīng)過電解拋光處理且體積不小于75mL的不銹鋼源瓶
2.4.6 前驅(qū)體管路配有載氣（N2），載氣管路前端需配備計量調(diào)壓閥、氣動閥等
2.4.7 吹掃管路采用1個質(zhì)量流量控制器和1個進(jìn)口閥門(閥門最高耐溫不小于150℃)用于控制惰性氣體
2.4.8 管路及接頭均采用EP級電解拋光不銹鋼材料，所有氣體管路連接處采用金屬VCR密封
2.4.9 管路排布符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，從源瓶到真空腔的所有管路配備加熱箱，保證管路、閥門等位置受熱均勻
2.5 源瓶系統(tǒng)：室溫至150℃可控，控制精度：±1℃
*2.6 加熱箱：室溫至150℃可控，控制精度：±1℃，要求所有管路放置在加熱箱內(nèi)實現(xiàn)一體式加熱，加熱箱內(nèi)管路溫度均勻性±5℃
2.7 采用固態(tài)繼電器用于控制加熱，符合UL、CSA、ROHS標(biāo)準(zhǔn)
2.8 真空泵采用雙級油封式旋片真空泵，抽速65m3/h，噪音不大于62dB
2.9 真空測量：至少配備2個真空壓力計，包含一個高真空壓力計和一個大氣真空壓力計
2.10 真空壓力計采用薄膜規(guī)，要求高精度，長壽命，必須對腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性，可在工藝進(jìn)行的同時進(jìn)行壓力監(jiān)測，精度：±0.25%讀數(shù)；響應(yīng)時間<20ms；分辨率≤0.005%FS；符合CE，ROHS規(guī)范
3. 設(shè)備軟硬件規(guī)格
3.1 控制系統(tǒng)配備工控機(jī)和PLC，工控機(jī)配備SSD固態(tài)硬盤，安裝正版操作系統(tǒng)；PLC可支持2ms掃描周期
3.2 輸入設(shè)備配備鼠標(biāo)、鍵盤和觸摸顯示器，顯示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋轉(zhuǎn)，可調(diào)視距、視角、自由懸停
3.3 界面操作系統(tǒng)支持歷史數(shù)據(jù)、報警日志的存儲和導(dǎo)入導(dǎo)出功能
3.4 界面操作系統(tǒng)需實時展示系統(tǒng)加熱狀態(tài)、所有閥門開關(guān)狀態(tài)、腔室壓力狀態(tài)
3.5 界面操作系統(tǒng)具備配方編輯功能，可對工藝參數(shù)沉積溫度、循環(huán)次數(shù)、脈沖時間等進(jìn)行編輯
3.6 用戶可設(shè)定設(shè)備及工藝運行時的報警參數(shù)，包括但不限于溫度、壓力、流量等
3.7 用戶可設(shè)定設(shè)備及工藝運行時的提醒參數(shù)，包括前驅(qū)體源用量追蹤及提醒功能
3.8 界面操作系統(tǒng)具備用戶權(quán)限管理功能，可根據(jù)用戶級別設(shè)定使用權(quán)限，針對操作人員分級管理
3.9 界面操作系統(tǒng)支持多個配方交替運行，實現(xiàn)單一和多層薄膜材料的制備
3.10 界面操作系統(tǒng)可自動完成Thermal-ALD和PEALD的單一或多層配方運行
3.11 界面操作系統(tǒng)配備獨立的維護(hù)界面，所有管路具備自動清洗功能，確保ALD閥門與真空腔之間的管路沒有前驅(qū)體殘留
3.12閥門配備電磁閥，電磁閥響應(yīng)時間<5ms，帶過電壓保護(hù)回路，帶動作指示燈
3.13電氣硬件互鎖設(shè)計包含CDA等硬件互鎖（Interlock）功能，防止誤操作的發(fā)生，保證設(shè)備和人身安全
4. 等離子體系統(tǒng)
4.1 采用電感耦合(ICP)遠(yuǎn)程等離子體激發(fā)源
*4.2 配備射頻電源，頻率13.56MHz，功率不小于1000W，冷卻方式為風(fēng)冷。功率輸出穩(wěn)定度及功率調(diào)節(jié)精度不大于10W，功率轉(zhuǎn)化效率不小于65%，雜散功率抑制不小于-60dBc，諧波抑制不小于-50dBc
4.3 配備自動匹配器，可自動進(jìn)行阻抗匹配，縮短匹配時間
4.4 配備自動匹配器集成步進(jìn)馬達(dá)和驅(qū)動器，集成VI傳感器，傳感器具備檢測射頻功率輸出端參數(shù)功能，匹配時間不大于3s
4.5 配備3路氣體管路，包含N2、O2、H2
4.6 每路氣體管路配備1個進(jìn)口閥門和1個質(zhì)量流量控制器
4.7 等離子體工藝啟輝窗口，功率范圍30 W～1000W，壓力范圍0.05 Torr ～1.0Torr
5. 熱阱加熱器
5.1 設(shè)備配備熱阱加熱器用于處理反應(yīng)殘余氣
5.2 熱阱加熱器內(nèi)部阱芯可更換
5.3 熱阱加熱器最高可加熱溫度不小于400℃，控溫精度±1℃
6. 工藝及服務(wù)
6.1.1 工藝驗收標(biāo)準(zhǔn)：8英寸（200mm）單晶硅片基底上沉積30nm Al2O3薄膜，薄膜的不均勻性＜2％（均勻九點）
6.1.2提供原子層沉積工藝技術(shù)支持
?。ǘ┵|(zhì)保期不少于1 年
（三）報價要求
若采購需求未發(fā)生實質(zhì)性變動（由磋商小組進(jìn)行認(rèn)定），本項目將不再組織二次報價，即以供應(yīng)商響應(yīng)文件中的報價為最終報價。
五、評分標(biāo)準(zhǔn)
本次磋商采用綜合評分法，總分為100分，具體內(nèi)容如下：
?。ㄒ唬┘夹g(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分（50分）
1．技術(shù)參數(shù)及配置（35分）
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實際情況進(jìn)行評判。
?。?）所提供產(chǎn)品多項不滿足磋商公告標(biāo)注“*”要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評審可作為無效響應(yīng)文件。
（2）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告標(biāo)注“*”要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣5分。
?。?）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告未標(biāo)注“*”要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣2分。
2．綜合性能情況（15分）
?。?）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6分）。其中優(yōu)于項，每處加2分。
（2）所提供產(chǎn)品的市場反饋情況（9分）。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、市場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。
?。ǘ﹥r格分（35分）
1．基準(zhǔn)價：滿足競爭性磋商文件要求且價格最低的報價為基準(zhǔn)價，基準(zhǔn)價為滿分35分；
2．其他供應(yīng)商的報價得分按照下列公式計算：報價得分＝（基準(zhǔn)價／報價）×35分。
（三）綜合商務(wù)（15分）
1．供應(yīng)商綜合實力（2分）
根據(jù)供應(yīng)商綜合實力評定。
2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（10分）
（1）質(zhì)保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年質(zhì)保期加1分。
?。?）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7分）。
根據(jù)磋商響應(yīng)文件的相關(guān)承諾、服務(wù)網(wǎng)點設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時間、免費培訓(xùn)次數(shù)、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。
3．其它（3分）
?。?）磋商響應(yīng)文件質(zhì)量（1分）。根據(jù)磋商文件的規(guī)范性、完整性等情況綜合評定。
?。?）其它優(yōu)惠措施等（2分）。根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、磋商響應(yīng)報價應(yīng)包括所報儀器設(shè)備費、安裝調(diào)試費、測試驗收費、培訓(xùn)費、運行維護(hù)費、稅金(含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅)、國際國內(nèi)運輸費、保險和其他為完成本項目所發(fā)生的一切費用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
?。ㄒ唬┰谥袊硟?nèi)注冊成立的企業(yè)，具有獨立法人資格。
?。ǘ┙?jīng)營范圍包含報價產(chǎn)品。
（三）本項目不接受聯(lián)合體報價。
八、磋商響應(yīng)文件的組成
?。ㄒ唬┐枭添憫?yīng)文件一般由下列材料組成（部分表格樣式見附件），復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
1. 磋商響應(yīng)資料與頁碼對照表。
2. 磋商響應(yīng)函（原件）。
3. 響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。
4. 詳細(xì)配置清單（原件）。
5. 技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。
6. 公司簡介（包括響應(yīng)單位的資質(zhì)、業(yè)績、獲得的榮譽等，原件）。
7. 資格證明材料
?。?）營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機(jī)構(gòu)代碼證（復(fù)印件）。
?。?）法定代表人授權(quán)書（原件）。
?。?）法定代表人身份證明材料（如身份證、護(hù)照等）（復(fù)印件）。
（4）法人授權(quán)代表身份證明材料（如身份證、護(hù)照等）及單位社保證明（復(fù)印件）。
?。?）供應(yīng)商最新的年度審計報告或財務(wù)報告（復(fù)印件）。
?。?）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證（復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供）。
（7）儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明（非投標(biāo)產(chǎn)品生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第2.2條要求提供，專項授權(quán)書提供原件、代理證書提供復(fù)印件）。
?。?）有關(guān)質(zhì)量認(rèn)證中心出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件）。
?。?）近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式（以教學(xué)、科研用戶為主，原件）。
8. 服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對本項目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。
9. 供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。
（二）特別說明
1. “磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章；
2. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；
3. 相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調(diào)試、驗收以及售后服務(wù)等相關(guān)商務(wù)要求，參照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第21條中的要求執(zhí)行。
十、磋商文件價格：人民幣500元（相關(guān)繳納事宜詳見附件2），售后不退。
十一、供應(yīng)商在報名前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在2022年9月12日12：00前將報名函（格式見附件3）發(fā)送郵件至采購人處（dingy@suda.edu.cn）。
十二、遞交磋商響應(yīng)文件相關(guān)事宜：
（一）順豐郵寄（建議優(yōu)先采用）
1.寄達(dá)時間：2022年9月16日9：00前；
2.收件人信息：
收件人：丁悅
聯(lián)系方式：13862165427
收件地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號蘇大東校區(qū)（采購與招投標(biāo)管理中心）
（二）現(xiàn)場遞交
1. 現(xiàn)場遞交時間：2022年9月16日8：30～9：00
2. 現(xiàn)場遞交地點：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號蘇州大學(xué)東校區(qū)東大門
十三、遞交磋商文件截止時間：2022年9月16日9：00。
十四、磋商時間：2022年9月16日9：00。
