序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
1 | 真空薄膜氣相沉積設(shè)備 | 2套 | 系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)≤5×10^-7 Torr | 編號:0705-1940182008LT/01;預(yù)算金額:人民幣400萬元; |
2 | 測試源表探針臺(tái) | 2套 | 不同頻率下的C-V測試,頻率范圍達(dá)到或優(yōu)于:1K~10MHz | 編號:0705-1940182008LT/02;預(yù)算金額:人民幣600萬元; |
3 | 原子層沉積系統(tǒng) | 2套 | 每個(gè)液態(tài)料源裝置均須配制循環(huán)水水浴裝置,以穩(wěn)定低蒸發(fā)壓液態(tài)源溫度。水浴溫度須≤±2℃ | 編號:0705-1940182008LT/03;預(yù)算金額:人民幣300萬元; |