【康沃真空網(wǎng)】12月18日消息，中電科電子裝備集團(tuán)下屬的紅太陽光電公司，成功研制出國內(nèi)首臺疊舟PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，并于近日順利完成發(fā)貨。
在光伏電池的生產(chǎn)流程中，PECVD鍍膜技術(shù)因其能夠在低溫下形成高質(zhì)量、高附著力的薄膜而備受青睞，成為光伏電池制造過程中不可或缺的一環(huán)。
然而，當(dāng)前市場上的常規(guī)PECVD設(shè)備普遍面臨著同質(zhì)化競爭嚴(yán)重、性能差異細(xì)微的問題，行業(yè)急需一種能夠顯著提升產(chǎn)能、降低成本、增強(qiáng)穩(wěn)定性并優(yōu)化工藝品質(zhì)的新型設(shè)備來打破瓶頸，重塑競爭格局。
紅太陽光電公司此次推出的疊舟PECVD設(shè)備，正是針對這一行業(yè)痛點而研發(fā)的革新之作。該設(shè)備摒棄了傳統(tǒng)設(shè)備的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計，創(chuàng)造性地采用了雙舟疊放技術(shù)，通過優(yōu)化設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)和布局，實現(xiàn)了單管載片量的大幅提升。據(jù)悉，該設(shè)備的單管載片量從原先的768片躍升至1368片，反應(yīng)室的空間利用率也隨之提高了8個百分點，達(dá)到了50%的領(lǐng)先水平。這一系列改進(jìn)直接促使單機(jī)設(shè)備的產(chǎn)能提升了15%，更在能耗效率、運行穩(wěn)定性以及工藝可靠性等方面實現(xiàn)了顯著提升。通過采用先進(jìn)的控制技術(shù)和優(yōu)化工藝參數(shù)，該設(shè)備在確保高質(zhì)量鍍膜的同時，有效降低了生產(chǎn)成本和能耗水平，為光伏電池的大規(guī)模高效生產(chǎn)提供了有力支持。
