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為生產(chǎn)450毫米晶圓鋪平道路
標(biāo)簽: 普旭真空
2015-09-24  閱讀

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半導(dǎo)體事業(yè)部(Semicon)的業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)與產(chǎn)品經(jīng)理 Paul Alers 于 2015 年 8 月 20 日參加了美國(guó)西部半導(dǎo)體展 (SEMICON West) 旗下的一個(gè)專題研討會(huì),名為“今日 F450C:開(kāi)發(fā)未來(lái)的工業(yè)解決方案”

為生產(chǎn)450毫米晶圓鋪平道路

真空和集中式系統(tǒng)是半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線中必不可少的組成部分。

專題研討會(huì)的主題為 450 毫米半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線的研發(fā)。該專題研討會(huì)由 450 毫米晶圓制造設(shè)備聯(lián)盟(F450C)舉辦。該組織目前正與紐約州立大學(xué)納米科學(xué)與工程學(xué)院(CNSE)展開(kāi)合作,致力于設(shè)計(jì)打造 450 毫米計(jì)算機(jī)芯片生產(chǎn)線。與q*納米電子設(shè)備領(lǐng)域的眾多領(lǐng)先公司一樣,Busch 也是該組織的成員之一。

開(kāi)發(fā)向 450 毫米(17.7 英寸)基片(晶圓或“薄片”)過(guò)渡的芯片生產(chǎn)設(shè)備和基礎(chǔ)設(shè)施將對(duì)該行業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。目前,在生產(chǎn)線上制造的z*大晶圓的尺寸為 300 毫米(11.8 英寸)。晶圓更大意味著可以同時(shí)加工數(shù)量更多的芯片,并節(jié)約制造成本。

s*批試樣晶圓預(yù)計(jì)將在 2015 年 9 月生產(chǎn)。

在該專題研討會(huì)中,Paul Alers 博士就能源消耗、耗水量和廢棄物問(wèn)題發(fā)表了講話。這些問(wèn)題與 Busch 的核心價(jià)值觀密切相關(guān),Busch 秉承“生產(chǎn)綠色產(chǎn)品——Busch 助您一臂之力”的環(huán)保、可持續(xù)發(fā)展的生產(chǎn)理念。

在本年度的美國(guó)西部半導(dǎo)體展 (SEMICON West) 中,Busch 向公眾展示了 COBRA BC 雙螺桿真空泵。憑借成熟的雙螺桿技術(shù)優(yōu)勢(shì),COBRA BC Premium Efficiency 系列真空泵可大幅減少能耗并延長(zhǎng)平均故障間隔時(shí)間(MTBF),從而降低生產(chǎn)線的運(yùn)行成本。該系列真空泵設(shè)計(jì)用于微芯片完整生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的多種應(yīng)用,適用于簡(jiǎn)易至嚴(yán)酷工作條件下的生產(chǎn)環(huán)境。

半導(dǎo)體事業(yè)部(Semicon)業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)與產(chǎn)品經(jīng)理 Paul Alers 博士就半導(dǎo)體行業(yè)的需求進(jìn)行探討,內(nèi)容涉及可靠性、生產(chǎn)技術(shù)成熟性和節(jié)能。