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肇慶市振華真空機械有限公司z*新研制出國內(nèi)s*創(chuàng)大型PECVD、磁控濺射卷繞鍍膜機。采用多區(qū)域沉積、多主軸結(jié)構(gòu),在薄膜上沉積SiOx阻隔膜。沉積速率高,質(zhì)量好。用于電子產(chǎn)品、醫(yī)藥用品的高檔阻隔膜生產(chǎn)。
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