近日，受省科技廳委托，合肥科技局組織有關(guān)專家對(duì)省科技計(jì)劃項(xiàng)目“極大規(guī)模集成電路制造用低溫真空泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”進(jìn)行了驗(yàn)收，驗(yàn)收專家組在聽取了項(xiàng)目實(shí)施情況匯報(bào)后，一致同意項(xiàng)目驗(yàn)收通過(guò)。
　　
　　該項(xiàng)目產(chǎn)品經(jīng)檢測(cè)，符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，使用狀況良好。此外，該項(xiàng)目還獲得了實(shí)用新型專利7項(xiàng)，高新技術(shù)產(chǎn)品2項(xiàng)，參與制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)，具有較好的經(jīng)濟(jì)與社會(huì)效益。