【康沃真空網(wǎng)】什么是濺射離子泵？
這是用于產(chǎn)生超?極高真空的典型泵之一。由于向由陽極和陰極組成的電池（泵電池）施加電場(chǎng)是簡單操作原理，沒有驅(qū)動(dòng)并且不產(chǎn)生聲音或振動(dòng)。另外，這是一種儲(chǔ)存型的泵，穩(wěn)定運(yùn)行期間，無需輔助泵即可單獨(dú)排氣。廣泛用于分析儀器和加速器。
使用了濺射離子泵的技術(shù)！
加速器、超?極高真空排氣設(shè)備、分析設(shè)備、電子束照射設(shè)備等
濺射離子泵的特征
離子泵的優(yōu)點(diǎn)
泵的結(jié)構(gòu)上，沒有機(jī)械動(dòng)作部分，所以不會(huì)引起噪音和振動(dòng)。因此，它廣泛用于分析儀器和加速器等領(lǐng)域。
應(yīng)用于極超真空，已通過ISO標(biāo)準(zhǔn)，極限壓力10-9 Pa測(cè)試 。
稀有氣體排氣增強(qiáng)型的排氣性能是氬氣的兩倍。
在超高真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高抽速。
在短時(shí)間內(nèi)可以達(dá)到超高真空。
在超高真空范圍內(nèi)具有出色的啟動(dòng)特性。
優(yōu)點(diǎn) 可獲得超?極高真空，無機(jī)械振動(dòng)和噪音，完全無油，可選擇任何安裝方式等
缺點(diǎn) 難以排出大流量的氣體，由于運(yùn)作范圍在高真空，因此需要粗抽泵。
濺射離子泵的結(jié)構(gòu)
用鈦吸氣劑膜捕捉氣體。
泵殼，磁軛，由陽極和陰極組成的電池（泵電池），在此施加電場(chǎng)的簡單結(jié)構(gòu)
?。保┮淮坞娮由伞?/p>
２）一次電子螺旋軌道
?。常┮淮坞娮雍蜌怏w分子●的撞擊產(chǎn)生一次離子
４）離子撞擊陰極，敲擊出鈦原子●
?。担┾佋游交钚詺怏w分子，離子被捕獲在陰極中
