半導(dǎo)體設(shè)備真空泵常見故障及維修
【康沃真空網(wǎng)】隨著經(jīng)濟(jì)快速增長，半導(dǎo)體工業(yè)也隨之不斷發(fā)展，真空設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用也更加廣泛。
半導(dǎo)體設(shè)備中常見的真空泵為油封式機(jī)械泵，干式真空泵，羅茨真空泵，分子真空泵，擴(kuò)散泵和冷凝泵等。真空泵運(yùn)行情況的優(yōu)劣直接影響設(shè)備的經(jīng)濟(jì)性和安全性。
本文從常見半導(dǎo)體設(shè)備真空泵的故障及維修辦法等方面入手，對常見泵的故障現(xiàn)象和維修手段進(jìn)行簡要總結(jié)，可有效節(jié)約維修時(shí)間，及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障和處理，保證設(shè)備安全經(jīng)濟(jì)運(yùn)行。
半導(dǎo)體設(shè)備真空泵常見故障分析及維修辦法如下表格：
