【康沃真空網(wǎng)】如何保護(hù)好分子泵
1、分子泵不能超出生產(chǎn)商規(guī)定的使用環(huán)境和使用范圍。
2、分子泵的高真空端應(yīng)做好保護(hù)措施避免運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)暴露大氣而導(dǎo)致泵直接損壞。
3、分子泵的前級(jí)（低真空端）壓力超過(guò)生產(chǎn)商指定的最大壓力將導(dǎo)致泵的過(guò)熱，會(huì)導(dǎo)致軸承受損，情況嚴(yán)重的甚至?xí)?dǎo)致徹底失效。
4、避免分子泵的進(jìn)氣口和出氣口都是“死連接”，如果前級(jí)管道為固定連接，則泵殼受熱后無(wú)法膨脹，導(dǎo)致不當(dāng)?shù)牟牧蠎?yīng)力，在該固定連接中，轉(zhuǎn)子無(wú)法自由移動(dòng)，且遺留下來(lái)的細(xì)微不平衡隨著時(shí)間的推移會(huì)造成軸承故障，并會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子受損。
5、當(dāng)無(wú)法避免顆粒物穿過(guò)分子泵的進(jìn)氣口防護(hù)罩而掉入分子泵內(nèi)時(shí)，需選擇倒置安裝或其它角度安裝。對(duì)于有形成沉積物趨向的工藝，如在 CVD（化學(xué)氣相沉積）中，涂層工藝將在轉(zhuǎn)子和殼體部件上持續(xù)進(jìn)行，這將會(huì)引發(fā)不平衡和震動(dòng)，致使轉(zhuǎn)子破碎，在此類工藝中，應(yīng)采取屏蔽措施。
6、當(dāng)烘烤泵時(shí)，務(wù)必遵守生產(chǎn)商規(guī)定的最大烘烤溫度要求。溫度高時(shí)，需要對(duì)泵進(jìn)行冷卻。
7、磁場(chǎng)會(huì)對(duì)運(yùn)行中的分子泵的轉(zhuǎn)子產(chǎn)生渦電流，這會(huì)加熱轉(zhuǎn)子并使其迅速過(guò)熱，如果這些值過(guò)高，則必須對(duì)泵進(jìn)行屏蔽。如果已知磁場(chǎng)的分布情況，則必須對(duì)其進(jìn)行重新部署。
8、在存在不同強(qiáng)度和持續(xù)時(shí)間的中子和伽馬輻射的情況時(shí)，這種輻射破壞安裝在泵上的電子驅(qū)動(dòng)器和變頻器，在這種情況下，必須使用連接電纜將電子驅(qū)動(dòng)器安裝在遠(yuǎn)離輻射的安全距離上。
9、按照生產(chǎn)商的規(guī)定對(duì)分子泵做好維護(hù)保養(yǎng)。
