【康沃真空網(wǎng)】擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。擴(kuò)散泵使用高速的蒸汽直接噴射泵在喉嚨氣體分子分解成的泵出排氣底部。于1915年主辦沃爾夫?qū)w德和使用汞蒸氣，它們是高真空的自由分子流中，把氣體分子運(yùn)動(dòng)，能更好地為比傳統(tǒng)的流體動(dòng)力學(xué) 擴(kuò)散的理解，正確運(yùn)作泵第一類。蓋德使用的名稱擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)是因?yàn)樗诎l(fā)現(xiàn)氣體不能擴(kuò)散對(duì)汽流為基礎(chǔ)，但將與它進(jìn)行的廢氣。但是，工作原理可能更精確地描述射流泵 ，由于擴(kuò)散起到了重要作用，而且在其他高真空泵。在現(xiàn)代課本，擴(kuò)散泵是歸類為動(dòng)量轉(zhuǎn)移泵。擴(kuò)散泵廣泛應(yīng)用于工業(yè)和研究應(yīng)用。大多數(shù)現(xiàn)代擴(kuò)散泵使用作為工作介質(zhì)。塞西爾雷伯奇發(fā)現(xiàn)了1928年使用的可能性硅油。
擴(kuò)散泵的工作原理
由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內(nèi)的液態(tài)工作介質(zhì)加熱，使其變成蒸汽；蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流；被抽氣體通過擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中，被下一級(jí)蒸汽射流帶走，最后由前級(jí)泵排出，而工作蒸汽到達(dá)水冷的泵壁，冷凝成為液態(tài)沿著泵壁流回油鍋。在油鍋里重新被加熱變成油蒸汽。這樣周而復(fù)始的工作，形成了擴(kuò)散泵的正常抽氣過程。擴(kuò)散泵的優(yōu)缺點(diǎn)在真空泵的大家族中，擴(kuò)散泵屬于高真空獲得設(shè)備。
擴(kuò)散泵的優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)運(yùn)動(dòng)件、噪音很小、使用方便、維護(hù)容易、在高真空段有較大抽速，單位抽速所需制造成本較低等，因此，其應(yīng)用面很廣。
缺點(diǎn)：返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來擴(kuò)散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問題。
油擴(kuò)散泵
油擴(kuò)散泵的運(yùn)作是一個(gè)低蒸氣壓油。其目的是實(shí)現(xiàn)更高的真空（低壓）由正排量泵僅比使用是可能的。雖然它的使用主要是有關(guān)在高真空范圍（下降到10-9毫巴），今天的擴(kuò)散泵產(chǎn)生的壓力接近10 -10毫巴適當(dāng)?shù)臅r(shí)候與現(xiàn)代流體及配件使用。使擴(kuò)散泵高，超高真空有吸引力的是它的高抽所有氣體和抽速每單位成本低，速度比其他類型的泵在同一真空范圍內(nèi)使用。擴(kuò)散泵不能直接排放到大氣中，所以前級(jí)機(jī)械泵通常用于維持約0.1毫巴出口壓力。luo
蒸汽噴射泵
蒸汽噴射器是一種擴(kuò)散真空蒸餾及冷凍泵流行的一種干燥。一個(gè)蒸汽噴射泵認(rèn)為，必須從蒸汽真空室中刪除。蒸汽噴射器可以有一個(gè)或多個(gè)階段，并沒有各階段之間的冷凝器英寸。
壓縮空氣噴射泵
其中擴(kuò)散真空泵類是多級(jí)壓縮驅(qū)動(dòng)噴射空氣。這是非常流行的應(yīng)用中使用的對(duì)象是各地和真空吸盤線遷出。
