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低溫真空泵有什么特點(diǎn)?適用范圍和應(yīng)用領(lǐng)域有哪些?
標(biāo)簽: 低溫真空泵
2022-12-12  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】一、低溫真空的原理與結(jié)構(gòu)

  低溫真空泵是一種利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵,又叫冷泵、冷凝泵,一般是以低溫液體(液氮或液氦)或低溫制冷機(jī)為冷源。

  二、低溫真空泵應(yīng)用領(lǐng)域有哪些

  低溫泵適合用于需要高真空度的領(lǐng)域,尤其適合應(yīng)用于要求潔凈無(wú)油或快速抽氣的場(chǎng)合,例如半導(dǎo)體與集成電路前工序、光學(xué)鍍膜、太陽(yáng)能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜等領(lǐng)域。

  三、低溫真空泵的原理與結(jié)構(gòu)

  低溫真空泵主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級(jí)冷板等組成,其作用原理是:依靠冷源提供的冷量使表面氣體被冷到低溫冷凝時(shí)壓力下降,不冷凝氣體在低溫下被固體吸附劑吸附,從而達(dá)到排氣的效果,獲得潔凈真空,低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。

  四、低溫真空泵的優(yōu)點(diǎn)

  1、高極限真空度

  標(biāo)準(zhǔn)的低溫真空泵,其極限真空度可達(dá)10-7Pa,必要時(shí),在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa,而理論上,甚至于達(dá)到10-11Pa以上極高真空。

  2、大抽速

  低溫真空泵的抽速較快,尤其對(duì)水具有超高的抽速,其遠(yuǎn)高于其它真空泵,低溫泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快,可以大大提高產(chǎn)品產(chǎn)出量。

  3、潔凈

  低溫泵是真正的潔凈無(wú)油、抽速高的高真空泵,它是利用低溫冷板來(lái)冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空,在真空區(qū)域任何沒有運(yùn)動(dòng)部件,沒有油,所有清潔無(wú)污染。

  4、運(yùn)行成本低

  低溫真空泵可大大減少電能消耗,尤其是大口徑泵。就抽速而言,低溫泵僅需1/3的能耗就可以達(dá)到與擴(kuò)散泵同等的效果。

  5、安全可靠

  低溫真空泵的真空腔內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,來(lái)自外界的干擾或來(lái)自真空系統(tǒng)的微粒不影響工作;同時(shí),由于低溫泵回溫具有一定“慣性”,可在突然停電的情況下,有效地保護(hù)真空腔體內(nèi)真空,不至于被鍍工件受到影響。

  6、使用方便

  低溫泵對(duì)安裝方位沒要求,可以泵口超上、泵口朝下、水平位置安裝或以腔體需要的任何角度安裝。

  7、使用壽命長(zhǎng)

  低溫真空泵運(yùn)動(dòng)部件少且低速運(yùn)行,通過(guò)日常的保養(yǎng)維護(hù),低溫泵的正常的使用壽命可達(dá)5~6萬(wàn)小時(shí),有的甚至超過(guò)8萬(wàn)小時(shí)。

  五、低溫真空泵的缺點(diǎn)

  1、需要降溫時(shí)間(準(zhǔn)備時(shí)間)。

  2、需要再生。

  3、購(gòu)置成本高。