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濺射離子泵的抽氣特性
標(biāo)簽: 濺射離子泵
2022-11-24  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】1、濺射離子的極限壓強(qiáng):可達(dá)10-10Pa。

  2、濺射離子泵的抽速:在高真空時,二極型濺射離子泵每一陽極格子的抽速經(jīng)驗(yàn)公式為

濺射離子泵的抽氣特性

二極型濺射離子泵的抽速經(jīng)驗(yàn)公式

  式中h 為陽極筒高度(cm);Ua為陽極電壓(V);H 為磁場強(qiáng)度(A/m);d 為陽極簡直徑(cm);e = 2.71828。

  多個陽極筒組成一臺濺射離子泵以后,其總抽速不考慮泵口流導(dǎo)影響)為:

  So = m·nfs (L/s) (6)

  式中m 優(yōu)為泵高方向并聯(lián)單元組數(shù);n 為泵深方向每一縱行單元數(shù);f 為抽速有效系數(shù),與單元排列有關(guān);s為每一單元的抽速。

  3、濺射離子泵在抽除惰性氣體時,二極泵會出現(xiàn)氬不穩(wěn)定性。

  4、濺射離子泵對有機(jī)蒸氣污染敏感,連續(xù)抽30min油蒸氣就會使泵起動困難。