【康沃真空網(wǎng)】清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點(diǎn):
?、贌o油,無摩擦——真空腔內(nèi)無油,非接觸,無磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;
?、诔闅饬看蟆p渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;
?、鄢闅庑矢摺獛в?-4個抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;
?、芊墙佑|,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動小;
?、萁Y(jié)構(gòu)簡單緊湊,相同尺寸下,運(yùn)動半徑小,運(yùn)行平穩(wěn);
⑥體積小,維修方便,維護(hù)費(fèi)用低;
?、卟捎每諝饫鋮s,無需水冷。
目前無油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?
?、侔雽?dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;
?、诳茖W(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
③機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備;
?、芑瘜W(xué)工業(yè);
⑤醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備;
?、薨b行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。