流量從50升/秒到5000升/秒
清潔泵,因?yàn)椴皇褂脵C(jī)油
需要泵底漆
購買成本高
維護(hù)費(fèi)用高
渦輪分子真空泵 可達(dá)到10-12 毫巴的壓力水平。 流量從50升到5000升/秒不等。 它們的工作原理與壓縮機(jī)相同。 泵的各級葉片由高速旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)旋轉(zhuǎn),電動機(jī)從待排空的容積中排出空氣。 這種泵通常安裝在磁性軸承上以支持高轉(zhuǎn)速。 它們需要一臺真空極限為10-2 mbar的主泵。
渦輪分子真空泵的優(yōu)點(diǎn)是不需要機(jī)油。 因此,是一種干凈的泵。 這種泵特別適合超高真空的應(yīng)用,如分析儀器或?qū)嶒?yàn)室分析。
由于其復(fù)雜的技術(shù),渦輪分子泵的購買成本很高,并且比傳統(tǒng)的真空泵需要更多的維護(hù)。 泵送速度也很大程度上取決于所泵送氣體的類型。 對于較輕的氣體,速度會急劇下降。