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劑量概念導致必須采取措施，避免 AMC 產生的缺陷： ■ 減小壓力 ■ 增加溫度 ■ 降低接觸時間 由于等待時間是保證晶圓加工靈活性所必需的制造要求，所以減少缺陷的正確方法是在升高的溫度下使 FOUP 和晶圓在
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