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為每個撞擊轉(zhuǎn)換倍增極離子創(chuàng)造的二次電子數(shù)量取決于離子質(zhì)量、能量與類型(原子或分子離子)。轉(zhuǎn)換率與質(zhì)量有關(guān)。這種影響被稱為質(zhì)量甄別,使用離散設(shè)計的 SEM 沒有使用 C-SEM 的效果明顯。在離子撞擊轉(zhuǎn)換倍增極之前將其加速到高能量可以減少質(zhì)量甄別。 總結(jié)穩(wěn)定的 RF 電源和精密機械過濾器都是必要的,以使...
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