網(wǎng)格離子源原理
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2015-06-16 閱讀
離子源用于檢查 UHV 或者甚至 XHV 應(yīng)用中的殘余氣體。其極其開(kāi)放的結(jié)構(gòu)和材料的選擇確保了非常低的內(nèi)部氣體排放。該離子源配備了兩個(gè)可同時(shí)加熱脫氣的鎢絲。
如果在低于 10 -11 hPa 的壓力下執(zhí)行工作，特別是為此目的，應(yīng)使用已經(jīng)充分脫氣的桿系統(tǒng)。在低于 10-10 hPa 壓力范圍內(nèi)的測(cè)量可能受到所謂的 EID（電子碰撞解吸）離子的歪曲。[32]。這些 (H+, O+, F+, Cl+) 離子直接通過(guò)表面的電子碰撞進(jìn)行解吸，通常具有高產(chǎn)量。EID 離子來(lái)自 UHV 設(shè)備早期歷史中的吸附涂層或離子源，通常具有幾個(gè) eV 的初始能量。此屬性通過(guò)仔細(xì)選擇場(chǎng)軸電壓來(lái)加以利用，以抑制相對(duì)于來(lái)自氣相、具有能量大約為 100 eV 離子的 EID 離子（Figure 6.10）。
