多級羅茨泵工藝化學(xué)
在涂層工藝中，特別是在平面屏幕半導(dǎo)體生產(chǎn)和太陽能行業(yè)中，如本章介紹中所說明的一樣，真空泵的耐蝕性具有重要的意義。除工藝兼容性外，占用空間小和低運(yùn)營成本是特別重要的泵體參數(shù)。與先前型號相比，P 系列通過降低達(dá) 53%的電源輸入滿足了這些要求，同時(shí)保持相同的占用空間。
該泵系列是基于 A 103 P 空運(yùn)行流程泵。我們已采用了該系列的兩個(gè)型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量。由于 A 103 P 的六級設(shè)計(jì)和節(jié)能電機(jī)，電源輸入保持在低水平。A 103 P 的六級設(shè)計(jì)降低了各級之間的差壓，也降低了泵的電源輸入。除六級外，大型進(jìn)氣級和高轉(zhuǎn)速允許高抽速和低極限壓力。
將消聲器直接安置在泵體上形成緊湊的泵設(shè)計(jì)，并通過泵體對消聲器直接加熱而無需額外的加熱套實(shí)現(xiàn)了節(jié)約能源。溫度控制和連續(xù)檢測整個(gè)泵的加熱是必要的，以防止反應(yīng)副產(chǎn)物的冷凝。
由于 P 系列的待機(jī)選項(xiàng)，不僅泵使用較少的冷卻水，而且還減少過程操作之外的沖洗氣體消耗，這導(dǎo)致運(yùn)營成本的降低。
廣泛的活化和控制選項(xiàng)不僅允許手動控制模式，還允許通過系統(tǒng)控制和監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)連接進(jìn)行控制。重要參數(shù)可直接輸出并導(dǎo)出用于統(tǒng)計(jì)評估。
