污染當(dāng)對真空室進(jìn)行抽空時,真空室必須干凈,以盡快達(dá)到所需壓力。真空系統(tǒng)典型的污染物包括
■■ 生產(chǎn)真空系統(tǒng)產(chǎn)生的殘渣表面、螺絲釘和密封件上的油脂
■■ 與應(yīng)用相關(guān)的污染物過程反應(yīng)產(chǎn)物、灰塵和顆粒
■■ 環(huán)境相關(guān)的污染物冷凝蒸汽,特別是吸附在容器壁上的水分。
因此,在安裝真空設(shè)備時有必要確保部件盡可能干凈。真空室中安裝的所有部件必須干凈、無油脂。安裝的所有密封件必須干燥。如果無法避免使用真空潤滑脂,且根本是輔助安裝而不是作為密封膠,必須非常謹(jǐn)慎地使用。如果將要產(chǎn)生高真空或超高真空,在裝配過程中必須佩帶干凈、不掉毛、無粉手套。