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在低壓力氣體中，氣體分子被電離胼生成的正離子數(shù)通常是與氣體分子密度成正比的，利用此關(guān)系可制成各種類型的電離真空規(guī)。

使氣體分子電離有各種方法。例如可采用在電場中或在電磁場中被加速的電子去轟擊氣體分子使其電離，也可采用從放射性物質(zhì)中放射出的具有一定能量的粒子（a粒子或盧粒子）去轟擊氣體分子使其電離等。

在真空測量中，電離真空規(guī)是z*主要的一種規(guī)型。不同類型的電離真空規(guī)配合使用能夠測量的壓力范圍，可以從大氣壓起直至目前所能測量的z*低壓力。在超高真空和極高真空區(qū)域中，電離真空規(guī)是z*實(shí)用的規(guī)型。