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振動薄膜規(guī)的外殼直徑為25.5mm，兩個對稱電極的直徑均為15mm，薄膜厚度為3ym，兩側(cè)的電極與薄膜之間距離為70tnn左右，在兩電極上同時加有直流偏置電壓V。（薄膜接地），當驅(qū)動電極上疊加一個頻率與薄膜的固有頻率相同的交流電壓時，在靜電力作用下薄膜會產(chǎn)生諧振。因氣體的阻尼效應，薄膜振幅會隨壓力而變化，并引起振膜與測量電極之間的電容的變化，從而導致...