諧振型粘滯性規(guī)概述
諧振型粘滯性規(guī)此類規(guī)的早期結(jié)構(gòu)是在規(guī)管的垂直方向安置一根張緊的細(xì)絲，當(dāng)細(xì)絲在諧振頻率下振動(dòng)時(shí)，氣體的阻尼效應(yīng)會(huì)使細(xì)絲的振幅衰減，如采用一驅(qū)動(dòng)信號(hào)使細(xì)絲維持等幅振蕩，則通過(guò)測(cè)量驅(qū)動(dòng)信號(hào)的大小就可以求得氣體壓力。
圖11-34是一種稱為“Reva”型的粘滯性規(guī)。把放置在永久磁鐵2的縫隙間的金屬絲3通以交流電，并使絲振動(dòng)，隨著壓力的增減，要維持絲的振幅不變，絲中電流需隨之增減，借此來(lái)測(cè)量真空度。此規(guī)量程為105Pa—10 -1Pa。但z*常用的測(cè)量范圍是10Pa—l0 -1Pa。在壓力區(qū)間內(nèi)，規(guī)的輸出信號(hào)與壓力p間呈線性關(guān)系。
圖11-34 Reva型粘滯性規(guī)1-外殼；2-磁鐵；3-金屬絲；4-電源；5-電表。
另一種諧振型粘滯性規(guī)是一個(gè)由石英晶體組成的振蕩系統(tǒng)。借助電子學(xué)反饋技術(shù)，當(dāng)壓力改變時(shí)，要維持晶體在等幅諧振下工作，則必須改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)的大小，借此達(dá)到測(cè)量的目的。
