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電阻真空規(guī)是皮拉尼在1906年發(fā)明的，故又稱皮拉尼規(guī)。這種規(guī)的熱絲溫度是隨壓力而變化的，由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化，用測(cè)量電阻的變化來測(cè)量真空度。此規(guī)要求熱絲具有大的電阻溫度系數(shù)，以提高靈敏度；還要求熱絲具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，以減少零點(diǎn)漂移。

表11-3列出了一些金屬的電阻溫度系數(shù)。