真空裝置的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)是由硬件和軟件組成。所謂硬件，即系統(tǒng)的控制裝置，它是由計(jì)算機(jī)及相關(guān)的外圍設(shè)備、測(cè)量裝置（如真空計(jì)、測(cè)溫儀表等）和執(zhí)行機(jī)構(gòu)等構(gòu)成。至于計(jì)算機(jī)可以是工業(yè)控制機(jī)，也可以根據(jù)真空裝置的要求，選擇某種類型的微型計(jì)算機(jī)、單片機(jī)，配置適當(dāng)?shù)慕涌陔娐芳巴鈬O(shè)備構(gòu)成。所謂軟...
