真空氣體流量調(diào)節(jié)元件
【康沃真空網(wǎng)】從原理上講，一般手動(dòng)真空調(diào)節(jié)閥，配上適當(dāng)?shù)目刂齐姍C(jī)（如伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)等）或液壓缸，通過(guò)調(diào)節(jié)控制電機(jī)或液壓缸的控制信號(hào)，使控制電機(jī)或液壓缸動(dòng)作，從而改變真空閥的流導(dǎo)，于是改變了流過(guò)真空閥的氣體流量，完成在真空裝置中真空室的真空度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。但是，曰前我國(guó)真空儀器廠家生產(chǎn)的真...
