真空環(huán)境制備納米材料（二）
【康沃真空網(wǎng)】二十二、真空環(huán)境制備納米材料 2．濺射沉積 濺射鍍膜技術(shù)在納米半導(dǎo)體薄膜的制備領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。較為典型的濺射技術(shù)有直流磁控濺射、射頻磁控濺射、離子束濺射以及電子回旋共振等離子體增加濺射等技術(shù)。已利用磁控濺射技術(shù)制備出不同調(diào)制波長(zhǎng)的SiC/W納米多層膜...
【康沃真空網(wǎng)】二十二、真空環(huán)境制備納米材料 2．濺射沉積 濺射鍍膜技術(shù)在納米半導(dǎo)體薄膜的制備領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。較為典型的濺射技術(shù)有直流磁控濺射、射頻磁控濺射、離子束濺射以及電子回旋共振等離子體增加濺射等技術(shù)。已利用磁控濺射技術(shù)制備出不同調(diào)制波長(zhǎng)的SiC/W納米多層膜...