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真空檢漏技術(shù)和儀器:累積法檢漏
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2014-12-24  閱讀

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此種檢漏方法適用于對(duì)出氣和漏氣量都不大的小型器件進(jìn)行檢漏,其特點(diǎn)是靈敏度高(當(dāng)正確使用這種方法時(shí)可以使檢漏靈敏度高出儀器靈敏度幾個(gè)數(shù)量級(jí))。具體檢漏系統(tǒng)可參考圖13-44。   累積法的檢漏過程是:將儀器...