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我國從20世紀(jì)60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：1、HZJ-1型、TL-1型和JLH-1型氦質(zhì)譜檢漏儀 它們在結(jié)構(gòu)上是完全相同的，性能上也比較接近。下面僅以HZJ-1型為例加以介紹。 (1)技術(shù)性能 儀器靈敏度：5×10^-7Pa. L/s; 工作