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氦質(zhì)譜檢漏儀的一個新發(fā)展是返流檢漏儀的出現(xiàn)，如圖13-33所示。此儀器的優(yōu)點是，由于它的質(zhì)譜室是處在高真空一側(cè)，被檢件則接在前級位置，因此能在較低真空度下對被檢件進行檢漏，且減少丁被檢件中的污物對質(zhì)譜室的污染。這種儀器是根據(jù)油
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