通常，指標(biāo)高于10^-9Pa的四極質(zhì)譜計(jì)的z*小可檢分壓力測試方法按下述步驟進(jìn)行：
①將測試系統(tǒng)抽至極限壓力后，向測試系統(tǒng)充入氖氣，使電離計(jì)指示壓力高于極限壓力(1～2)倍。記錄氖分子離子峰20u的離子流Il和電離計(jì)的指示壓力P1。
②調(diào)節(jié)進(jìn)樣閥，使電離計(jì)指示壓力增高l倍～10倍(但不允許高于2×10^-4Pa)，記錄20u的離子流I2和電離計(jì)的指示壓力P20
③計(jì)算
...
