等離子體離子源有許多形式，多用于加速器、同位素分離器和二次離子質(zhì)譜計(jì)等設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，這類大型離子源不是用于真空質(zhì)譜計(jì)的，但在z*近報(bào)道的幾篇資料表明，這類離子源對(duì)氣體分析也適用，文獻(xiàn)[204]介紹了一種陽(yáng)極區(qū)電位均勻的無(wú)磁場(chǎng)等離子體氣體弧光放電型離子源（圖12-9）。這種離子源用一個(gè)陶瓷管的襯套將放電區(qū)域限制在離子引出區(qū)，等離子體中的離子通過(guò)陽(yáng)極上的小孔引出。離子的能量分散很小，接近于等離子體的熱能分散。當(dāng)離子源工作在離子能量為200eV時(shí)，可獲得能量分散為O.1eV的微安級(jí)的離子流。文獻(xiàn)[20s]詳細(xì)報(bào)道了熱陰極放電離子源(圖12-10)中的離子能量分布，發(fā)現(xiàn)在類似的工作條件下，離子源的能量變化可達(dá)1eV左右。
等離子體色譜源是一種可在大氣壓條件下進(jìn)行電離的高靈敏度離子源，這種離子源通過(guò)一個(gè)直徑為25U.m的進(jìn)樣孔和四極質(zhì)譜計(jì)的高抽速真空系統(tǒng)相連，而不采用差級(jí)抽氣。從氣相色譜柱輸出的氣體是直接用放射性N63i箔進(jìn)行電離的，由于源內(nèi)可供電離的氣體分子總數(shù)很多，而且電離后的碎片離子又少，所以它對(duì)有機(jī)氣體檢測(cè)靈敏度仍很高。如對(duì)這種離子源再作改進(jìn)，則有望將其用于粗低真空條件下的氣體分析器。此外，文獻(xiàn)[208]介紹了一種在大氣壓下分析無(wú)機(jī)鹽的離子源，不過(guò)其離子產(chǎn)額較低。
