真空質譜計的離子源
真空質譜計離子源的功能是將氣體分子或原子電離為離子，并將所產生的離子由離子光學透鏡加速和聚焦，再引入分析器。
離子源的主要指標是離子產額和離子能量分散度。離子產額定義為離子源產生的離子流和離子源內壓力之比。對于一般大小的離子源和10^-4A—10^-3A的發(fā)射電子流，離子產額的范圍為10^-8A/Pa—l0^-6A/Pa。但通常只有一部分離子可適應分析場的耍求，其原因是離子必須：①聚焦到離子源的一個很小的出口處；②分析器入口孔很??；③分析器所適應的能量和角分散度有一定限度。所以有效的離子產額要更低一些。
真空質譜計離子源通常采用電子碰撞源。離子是由帶一定能量的電子和中性氣體分子（或原子）相碰撞而產生的。這種源的基礎是尼爾( Nier)設計的正交式電子碰撞源，即所謂傳統(tǒng)電子碰撞式離子源。當發(fā)射電子流一定時，離子源的離子產額的計算式可表達為
微分電離系數(shù)指一定能量電子在壓力為1Pa、溫度為0℃的氣體中，每1cm路程中產生的離子數(shù)。它與氣體種類有關，在電子能量約為70eV時，其典型數(shù)值為10^-3/cm.Pa—l0^-2/cm- Pa。提高離子產額的z*有效方法是增加電子的有效軌跡長度。圖12-2給出真空質譜計的電子碰撞式離子源的分類。
