真空測(cè)量技術(shù)的概述
在真空測(cè)量實(shí)踐中，要用真空規(guī)比較精確地去測(cè)量被研究的稀薄氣體壓力，以達(dá)到預(yù)期的目的，必須考慮下列三個(gè)問題：
?、賡*先要對(duì)被研究的對(duì)象有一般性的了解：
a．是非可凝的氣體還是可凝的蒸氣？是單一氣體還是混合氣體？是惰性氣體還是活潑性氣體或腐蝕性氣體？
b．氣流狀態(tài)是穩(wěn)態(tài)還是瞬態(tài)？是均勻氣流還是非均勻氣流？
c．所處的溫度是等溫還是不等溫？是高溫還是低溫？
d．有無磁場(chǎng)、電場(chǎng)、振動(dòng)、沖擊、加速度、帶電粒子、輻射等特殊條件？
②根據(jù)研究對(duì)象的情況和研究的目的，正確選用真空規(guī)，并需對(duì)所選用的真空規(guī)有較深入的了解，即了解其原理、量程、特殊和局限性，以便正確地使用它。
?、垡芯空婵找?guī)與被測(cè)對(duì)象之間的相互作用。規(guī)的引入可能會(huì)使被測(cè)對(duì)象的原來狀態(tài)發(fā)生畸變，同時(shí)被測(cè)對(duì)象也可能改變規(guī)的性能、干擾規(guī)的正常工作。
由此可知，要比較精確地進(jìn)行真空測(cè)量，僅僅孤立地去研究真空規(guī)還是很不夠的，必須全面地研究與上述三個(gè)方面問題有關(guān)的測(cè)量技術(shù)。
由于影響真空測(cè)量的因素較多，而且難以控制，所以測(cè)量精度是不高的。如果再不能很好地解決上述三個(gè)方面的問題，那么將會(huì)引起更大的誤差，甚至發(fā)生明顯的錯(cuò)誤。
從真空應(yīng)用角度看，多數(shù)情況并不需要過于高的精確度，只有在少數(shù)情況下（例如空間研究中），才要求高的測(cè)量精度（誤差≤1%）。這樣的高精度對(duì)粗低真空范圍的真空測(cè)量來說是可以滿足的，但在更寬的量程內(nèi)還不能達(dá)到。
?、賡*先要對(duì)被研究的對(duì)象有一般性的了解：
a．是非可凝的氣體還是可凝的蒸氣？是單一氣體還是混合氣體？是惰性氣體還是活潑性氣體或腐蝕性氣體？
b．氣流狀態(tài)是穩(wěn)態(tài)還是瞬態(tài)？是均勻氣流還是非均勻氣流？
c．所處的溫度是等溫還是不等溫？是高溫還是低溫？
d．有無磁場(chǎng)、電場(chǎng)、振動(dòng)、沖擊、加速度、帶電粒子、輻射等特殊條件？
②根據(jù)研究對(duì)象的情況和研究的目的，正確選用真空規(guī)，并需對(duì)所選用的真空規(guī)有較深入的了解，即了解其原理、量程、特殊和局限性，以便正確地使用它。
?、垡芯空婵找?guī)與被測(cè)對(duì)象之間的相互作用。規(guī)的引入可能會(huì)使被測(cè)對(duì)象的原來狀態(tài)發(fā)生畸變，同時(shí)被測(cè)對(duì)象也可能改變規(guī)的性能、干擾規(guī)的正常工作。
由此可知，要比較精確地進(jìn)行真空測(cè)量，僅僅孤立地去研究真空規(guī)還是很不夠的，必須全面地研究與上述三個(gè)方面問題有關(guān)的測(cè)量技術(shù)。
由于影響真空測(cè)量的因素較多，而且難以控制，所以測(cè)量精度是不高的。如果再不能很好地解決上述三個(gè)方面的問題，那么將會(huì)引起更大的誤差，甚至發(fā)生明顯的錯(cuò)誤。
從真空應(yīng)用角度看，多數(shù)情況并不需要過于高的精確度，只有在少數(shù)情況下（例如空間研究中），才要求高的測(cè)量精度（誤差≤1%）。這樣的高精度對(duì)粗低真空范圍的真空測(cè)量來說是可以滿足的，但在更寬的量程內(nèi)還不能達(dá)到。
