真空規(guī)：壓阻式真空規(guī)概述
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2014-09-23 閱讀
壓阻式真空規(guī)的傳感器為壓阻式絕對壓力傳感器。它是利用集成電路的擴散工藝將四個等值電阻做在一塊硅片薄膜上，聯(lián)接為平衡電橋。硅膜片利用機械加工和化學腐蝕方法制成硅環(huán)，然后用金硅共熔工藝或用其他特殊工藝將硅環(huán)與襯片燒結(jié)在一起。硅環(huán)膜片內(nèi)側(cè)為標準壓力(約1×10^-3Pa)，外側(cè)為待測壓力。結(jié)構(gòu)如圖11-17所示。當硅膜片外側(cè)的壓力變化時，由于硅的壓阻效應使電橋四個臂的阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，得到對應于待測壓力的電壓信號。此信號經(jīng)過放大器、控制單元、顯示單元等，顯示出相應的壓力數(shù)值。此規(guī)的測量范圍為10^5Pa～10Pa。
北京真空儀表廠采用壓阻式絕對壓力傳感器生產(chǎn)的HLP-03型低真空計，其原理方框圖如圖11-18所示。
儀器的測量范圍為1.1×10^5Pa～10Pa，滿量程的精度為0.5%。儀器的特點是線性測量精度高，與被測氣體種類無關(guān)，量程自動轉(zhuǎn)換。
北京真空儀表廠采用壓阻式絕對壓力傳感器生產(chǎn)的HLP-03型低真空計，其原理方框圖如圖11-18所示。
儀器的測量范圍為1.1×10^5Pa～10Pa，滿量程的精度為0.5%。儀器的特點是線性測量精度高，與被測氣體種類無關(guān)，量程自動轉(zhuǎn)換。
