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①數(shù)字程序控制。這是z*簡單的一種計(jì)算機(jī)控制，可以按照預(yù)定的時(shí)間順序或邏輯順序?qū)φ婵昭b置或真空工藝進(jìn)行控制。 ②直接數(shù)字控制DDC( Direct Digital Control)。在這種控制方式中，計(jì)算機(jī)取代模擬調(diào)節(jié)器(如壓力控制儀)，根據(jù)給定值和輸出量，直接對(duì)被控真空工藝過...