真空裝置是有關(guān)工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的重要機(jī)械設(shè)備。人們經(jīng)常要按照一定的要求將真空裝置中的真空泵啟動(dòng)或停止，將其真空閥門打開或關(guān)上，或者使真空裝置中的真空室中的壓力按照預(yù)先規(guī)定的量值進(jìn)行變化。上述真空裝置的操作過程及真空室中壓力調(diào)節(jié)過程稱為真空控制?？刂频闹黧w是人，或者是代替人的職能的控制裝置。
早期的真空裝置控制為手動(dòng)控制，后來，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空裝置控制從手動(dòng)控制逐步發(fā)展為自動(dòng)控制。所謂自動(dòng)控制，實(shí)際上是對手動(dòng)控制的一種模擬，在沒有人直接參與的情況下，使真空裝置自動(dòng)地按照預(yù)定的程序或規(guī)律運(yùn)行，從而使真空工藝過程穩(wěn)定，提高產(chǎn)品質(zhì)量和勞動(dòng)生產(chǎn)率，減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，防止事故發(fā)生。
在大型的真空裝置及真空工程中，除要求真空泵、真空閥門能按照預(yù)定的順序自動(dòng)地運(yùn)行，真空室的壓力能按規(guī)定的量值進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)外，還要求真空工藝流程能自動(dòng)切換，能自動(dòng)地完成電壓、電流、溫度、束流、膜厚、張力等參數(shù)的數(shù)據(jù)采集、處理、顯示及控制。這樣，不僅增加了需要檢測的參數(shù)，而且有的參數(shù)變化很快，允許波動(dòng)的范圍縮小。在這種情況下，若不用自動(dòng)控制，真空裝置就難以運(yùn)行，其真空工藝也就無法完成。因而，在設(shè)計(jì)真空裝置時(shí)，必須關(guān)注真空裝置的自動(dòng)控制，提高真空裝置的自動(dòng)化水平。
真空裝置自動(dòng)化水平的高低，已成為反映裝置技術(shù)水平的主要標(biāo)志之一。真空裝置實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，從而實(shí)現(xiàn)真空工藝過程的自動(dòng)化，使真空工藝過程安全、平穩(wěn)、優(yōu)質(zhì)、高效。早期，我國真空裝置圭要是用繼電器、接觸器及相關(guān)儀表，輔之以手動(dòng)操作，完成真空系統(tǒng)及真空工藝過程的程序控制、互鎖、超限報(bào)警等。20世紀(jì)80年代以后，計(jì)算機(jī)控制廣泛地應(yīng)用于真空裝置的自動(dòng)控制中，真空裝置的自動(dòng)化水平前進(jìn)了一步。近年來，集管理與真空裝置控制于一體的計(jì)算機(jī)集成綜合自動(dòng)控制系統(tǒng)得到發(fā)展，這將為真空設(shè)備制造廠的車間自動(dòng)化及工廠自動(dòng)化奠定基礎(chǔ)。
