外延技術(shù)制備真空半導(dǎo)體膜
外延技術(shù)是一種制備納米半導(dǎo)體薄膜的新技術(shù)，采用該技術(shù)可以制備出結(jié)晶取向與襯底完全一致而且品格結(jié)構(gòu)完整的納米半導(dǎo)體單晶薄膜。典型外延技術(shù)有氣相外延(VPE)、液相外延(LPE)和分子束外延( MBE)。
近年來，金屬有機(jī)氣相外延(MOCPE)、等離子體輔助外延(Ⅳ正)、原子層外延(ALE)、選擇區(qū)域外延(SAE)及金屬有機(jī)分子束外延即化學(xué)束外延(CBE)等技術(shù)在納米半導(dǎo)體薄膜的制備中日益受到關(guān)注。
近年來，金屬有機(jī)氣相外延(MOCPE)、等離子體輔助外延(Ⅳ正)、原子層外延(ALE)、選擇區(qū)域外延(SAE)及金屬有機(jī)分子束外延即化學(xué)束外延(CBE)等技術(shù)在納米半導(dǎo)體薄膜的制備中日益受到關(guān)注。
