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用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空:實(shí)驗(yàn)結(jié)果
標(biāo)簽:
2014-09-07  閱讀

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實(shí)驗(yàn)共進(jìn)行了12次,均穩(wěn)定地獲得了10 -llPa的壓力。其中三次實(shí)驗(yàn)結(jié)果見(jiàn)表16-17。運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中壓力的變化由圖16-58曲線給出。實(shí)驗(yàn)測(cè)得冷凍鈦升華阱的效率分別為812(對(duì)氫氣)和5000(對(duì)氮?dú)猓?。分子沉效率?.63。

用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空:實(shí)驗(yàn)結(jié)果

用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空:實(shí)驗(yàn)結(jié)果