用分子沉技術(shù)獲得10^-1lPa極高真空：系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)程序
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2014-09-06 閱讀
在實(shí)驗(yàn)工作中得到了一套運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)的z*佳程序。s*先，系統(tǒng)要進(jìn)行預(yù)處理，郎先用干燥氮?dú)?ldquo;沖洗”系統(tǒng)，然后進(jìn)行低真空“浸泡”。系統(tǒng)烘烤溫度約為250℃，時間約36h。在系統(tǒng)整體烘烤時，啟動主擴(kuò)散泵上的氟里昂障板，并對升華鈦泵和測量規(guī)管進(jìn)行徹底去氣。在烘烤過程中，當(dāng)系統(tǒng)的壓力降低到10^-4Pa時，開始間斷地對鈦泵及規(guī)管去氣，直到系統(tǒng)完全冷卻下來時為止。當(dāng)泵統(tǒng)的壓力降低到10^-9Pa時，停止去氣。系統(tǒng)的冷凍過程必須按照從高壓力到低壓力這樣一個程序進(jìn)行，z*后冷凍極高真空室。在冷凍過程中應(yīng)注意防止“冷漏”現(xiàn)象的出現(xiàn)。應(yīng)先啟動冷凍鈦升華阱，再啟動冷凍鈦升華泵，以形成分子沉環(huán)境。兩者加熱功率分別為1400W和600W。每次的工作時間為10min。大約工作3—4次就足夠了。要注意消除蒸鈦過程中鈦膜解吸放出的甲烷氣體，否則不易得到更低的壓力。
