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極高真空設備中的冷漏實驗結果與分析
標簽: 真空設備
2014-09-05  閱讀

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  在重復性冷熱沖擊實驗前,s*先對系統(tǒng)進行殘氣分析。圖16-48是系統(tǒng)殘氣質譜圖。從該圖中可以看出,H2(2)和H20(18)是主峰,說明系統(tǒng)中可能不存在較大的可檢漏隙。接著用氦峰定標法對液氮膽,液氦膽及所有