測(cè)量鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數(shù)：實(shí)驗(yàn)結(jié)果
標(biāo)簽：
2014-09-03 閱讀
實(shí)驗(yàn)中系統(tǒng)未烘烤，吸氣面水冷(12℃)或液氮冷卻，水冷時(shí)冷阱不加液氮。升華鈦后，系統(tǒng)壓力小于5.33×10^-6Pa，如液氮冷卻吸氣面時(shí)，壓力進(jìn)入10^-7Pao
?、俪鰵獬煞质切聼艚z900℃去氣時(shí)用四極質(zhì)譜計(jì)分析的。從表16-14中（已扣除本底成分）可見，主要是Hz、甲烷、CO等。鈦鋯絲的氫出氣量要比鈦鉬絲大（這可能與生產(chǎn)工藝有關(guān)）。900℃下去氣40min基本徹底。
?、谖饺萘渴窃跓艚z徹底去氣后關(guān)擴(kuò)散泵閥，然后恒電壓蒸發(fā)5min(膜厚28nm左右)，恒流充入被測(cè)氣體，記錄測(cè)量罩中的壓力隨時(shí)間的變化，由抽氣曲線（圖16-45）計(jì)算吸附容量（表16-15）。實(shí)驗(yàn)時(shí)起始?jí)毫?Pa～6.6×10^ -5Pa(液氮冷卻)，水冷時(shí)為1Pa～6.6×10^-4Pa。
?、壅持禂?shù)是在擴(kuò)散泵隔離打開和關(guān)閉，燈絲連續(xù)蒸發(fā)和間斷蒸發(fā)等四種情況下，分別測(cè)定膜面為12℃和78K下對(duì)N2和H2的粘著系數(shù)。在鈦絲充分去氣并扣除開閥時(shí)擴(kuò)散泵抽速后，四種情況下起始粘著系數(shù)相差不大。故取其平均值與國(guó)外的數(shù)據(jù)相近。測(cè)量中出現(xiàn)N2、H2的抽速比泵口的流導(dǎo)還大，這可能是束流效應(yīng)的影響。
?、俪鰵獬煞质切聼艚z900℃去氣時(shí)用四極質(zhì)譜計(jì)分析的。從表16-14中（已扣除本底成分）可見，主要是Hz、甲烷、CO等。鈦鋯絲的氫出氣量要比鈦鉬絲大（這可能與生產(chǎn)工藝有關(guān)）。900℃下去氣40min基本徹底。
?、谖饺萘渴窃跓艚z徹底去氣后關(guān)擴(kuò)散泵閥，然后恒電壓蒸發(fā)5min(膜厚28nm左右)，恒流充入被測(cè)氣體，記錄測(cè)量罩中的壓力隨時(shí)間的變化，由抽氣曲線（圖16-45）計(jì)算吸附容量（表16-15）。實(shí)驗(yàn)時(shí)起始?jí)毫?Pa～6.6×10^ -5Pa(液氮冷卻)，水冷時(shí)為1Pa～6.6×10^-4Pa。
?、壅持禂?shù)是在擴(kuò)散泵隔離打開和關(guān)閉，燈絲連續(xù)蒸發(fā)和間斷蒸發(fā)等四種情況下，分別測(cè)定膜面為12℃和78K下對(duì)N2和H2的粘著系數(shù)。在鈦絲充分去氣并扣除開閥時(shí)擴(kuò)散泵抽速后，四種情況下起始粘著系數(shù)相差不大。故取其平均值與國(guó)外的數(shù)據(jù)相近。測(cè)量中出現(xiàn)N2、H2的抽速比泵口的流導(dǎo)還大，這可能是束流效應(yīng)的影響。
