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粘著系數(shù)的測(cè)定，是在鈦蒸發(fā)期間或蒸發(fā)后引入恒定氣流Q（為減小本底的影響，要求Q的引入使本底壓力升高1—1.5數(shù)量級(jí)），同時(shí)測(cè)定吸氣膜附近的壓強(qiáng)p，計(jì)算膜面的比抽速S與該條件下的理想比抽速So之比，即為粘著系數(shù)a，a=S /So
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