為建立清潔的
真空系統(tǒng),吸氣劑
真空泵有了很大發(fā)展。在各種具有吸氣性能的材料中性能優(yōu)良的吸氣劑應(yīng)具有:①低的蒸氣壓,易蒸發(fā)成膜;②對多種氣體有合適的抽速,且生成物穩(wěn)定,蒸氣壓低;③吸氣材料的含氣量小,純度高,易制得且便宜;④可加工性能好。
鈦是吸氣材料中z*好的一種。因此,各種結(jié)構(gòu)的鈦
升華泵常應(yīng)用于清潔真空的獲得上。但在結(jié)構(gòu)簡單的電阻加熱升華器使用中發(fā)現(xiàn),用鈦合金作升華燈絲,比纏繞式純鈦升華燈絲具有重復(fù)性好、壽命長的優(yōu)點(diǎn),且在蒸發(fā)后仍有良好的電氣、機(jī)械性能。近十幾年來,對鈦鉬和鈦鋯合金絲蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作了廣泛研究與測定:一氧化鈦在低溫下吸氣性能比純鈦好,對氬有較大的抽速。金屬系統(tǒng)中低壓力下主要出氣成分是氫。在濺射
離子泵中,用多元吸氣劑優(yōu)于單一成分的吸氣劑。
對國產(chǎn)鈦鉬合金(85%鈦,15%鉬)絲和鈦鋯合金(85%鈦,15%鋯)絲(均由上海鋼鐵研究所提供)的蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作了仔細(xì)測定。這些數(shù)據(jù)經(jīng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備中多年使用,證明是比較可靠的,并運(yùn)用所給出公式計算泵昀電氣參數(shù),也符合工程實(shí)際。