鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能的性能概述
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2014-08-29 閱讀
為建立清潔的真空系統(tǒng)，吸氣劑真空泵有了很大發(fā)展。在各種具有吸氣性能的材料中性能優(yōu)良的吸氣劑應(yīng)具有：①低的蒸氣壓，易蒸發(fā)成膜；②對多種氣體有合適的抽速，且生成物穩(wěn)定，蒸氣壓低；③吸氣材料的含氣量小，純度高，易制得且便宜；④可加工性能好。
鈦是吸氣材料中z*好的一種。因此，各種結(jié)構(gòu)的鈦升華泵常應(yīng)用于清潔真空的獲得上。但在結(jié)構(gòu)簡單的電阻加熱升華器使用中發(fā)現(xiàn)，用鈦合金作升華燈絲，比纏繞式純鈦升華燈絲具有重復(fù)性好、壽命長的優(yōu)點(diǎn)，且在蒸發(fā)后仍有良好的電氣、機(jī)械性能。近十幾年來，對鈦鉬和鈦鋯合金絲蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作了廣泛研究與測定：一氧化鈦在低溫下吸氣性能比純鈦好，對氬有較大的抽速。金屬系統(tǒng)中低壓力下主要出氣成分是氫。在濺射離子泵中，用多元吸氣劑優(yōu)于單一成分的吸氣劑。
對國產(chǎn)鈦鉬合金(85%鈦，15%鉬)絲和鈦鋯合金（85%鈦，15%鋯）絲（均由上海鋼鐵研究所提供）的蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作了仔細(xì)測定。這些數(shù)據(jù)經(jīng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備中多年使用，證明是比較可靠的，并運(yùn)用所給出公式計算泵昀電氣參數(shù)，也符合工程實(shí)際。
對國產(chǎn)鈦鉬合金(85%鈦，15%鉬)絲和鈦鋯合金（85%鈦，15%鋯）絲（均由上海鋼鐵研究所提供）的蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作了仔細(xì)測定。這些數(shù)據(jù)經(jīng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備中多年使用，證明是比較可靠的，并運(yùn)用所給出公式計算泵昀電氣參數(shù)，也符合工程實(shí)際。
