真空系統(tǒng)中阱的設(shè)計
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2014-07-24 閱讀
由于目前泵的極限壓力都不是太低。因此，極高真空系統(tǒng)中，阱的設(shè)計是極為重要的，設(shè)計的重點在提高阱的捕獲效率
。捕獲效率為，的阱，分子穿過阱面跑到真空室的概率為
式中G是阱的幾何因子；乜為粘著系數(shù)；G決定于氣體分子通過阱時發(fā)生的那一次彈性碰壁的概率。若阱的設(shè)計能保證所有氣體分子都在和阱發(fā)生至少一次碰撞后才允許通過，那么就有
依次類推。G-般是0.01的數(shù)量級。由式(16-18)可以看出，要提高阱的捕獲效率必須從兩個方面著手：①增加氣體分子和阱壁的碰撞次數(shù)，減小幾何因子G值。但這使得阱的流導(dǎo)變小。只能在兼顧阱的流導(dǎo)的情況下減小G;②增大粘著系數(shù)口。由于它是
的關(guān)系，效果顯著。主要途徑是降低阱的溫度和涂以吸氣材料。冷凍鈦升華阱就是一種深冷吸附阱。如果a=0.99，由式(16-18)得阱的穿過率為
當(dāng)a=0.999時，
如果阱只允許兩次碰撞后才能通過，則擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)工作期間油的穿過引起的分壓力將低于10-13pa。
。捕獲效率為，的阱，分子穿過阱面跑到真空室的概率為 式中G是阱的幾何因子；乜為粘著系數(shù)；G決定于氣體分子通過阱時發(fā)生的那一次彈性碰壁的概率。若阱的設(shè)計能保證所有氣體分子都在和阱發(fā)生至少一次碰撞后才允許通過，那么就有
依次類推。G-般是0.01的數(shù)量級。由式(16-18)可以看出，要提高阱的捕獲效率必須從兩個方面著手：①增加氣體分子和阱壁的碰撞次數(shù)，減小幾何因子G值。但這使得阱的流導(dǎo)變小。只能在兼顧阱的流導(dǎo)的情況下減小G;②增大粘著系數(shù)口。由于它是
的關(guān)系，效果顯著。主要途徑是降低阱的溫度和涂以吸氣材料。冷凍鈦升華阱就是一種深冷吸附阱。如果a=0.99，由式(16-18)得阱的穿過率為當(dāng)a=0.999時， 如果阱只允許兩次碰撞后才能通過，則擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)工作期間油的穿過引起的分壓力將低于10-13pa。
