真空鋁釬焊設(shè)備
根據(jù)真空鋁釬焊工藝的特點(diǎn)，對(duì)真空鋁釬焊爐的要求，在真空度、漏氣率、熱區(qū)溫度均勻性上都比真空熱處理爐的要求高，這樣才能滿足工藝的要求。真空鋁釬焊爐的機(jī)械部分如圖10-126所示。爐子結(jié)構(gòu)可以分為下列部分：①爐體部分；②真空系統(tǒng)部分；③氣體強(qiáng)制循環(huán)冷卻裝置；④充氣裝置；⑤電氣控制部分。
1．爐體部分
爐體由雙層碳鋼圓筒組成，前后設(shè)置兩個(gè)爐門，便于布置前后發(fā)熱體及爐內(nèi)清潔之用。加熱室由奧氏體不銹鋼的框架及隔熱屏構(gòu)成。發(fā)熱體由鎳鉻電阻材料制造，由氧化鋁陶瓷支承并固定在框架上。隔熱屏由奧氏體不銹鋼薄板制造，并應(yīng)解決在高真空下抽氣及高溫下薄板因熱膨脹變形問(wèn)題。前后發(fā)熱體及隔熱屏分別固定在各自的爐門上。六個(gè)面的發(fā)熱體分別由六組單相電源供電，當(dāng)爐內(nèi)工件質(zhì)量分布不勻時(shí)，可根據(jù)不同需要供給不同功率。為了防止氧化鎂或鎂蒸氣進(jìn)入真空系統(tǒng)，在爐體和真空系統(tǒng)連接處設(shè)置鎂捕集器。
2．真空系統(tǒng)
由于真空鋁釬焊爐冷爐真空度要求達(dá)到10-4Pa，工作真空度要求10-3Pa，所以，用油擴(kuò)散泵作主泵是合適的，但其抽氣能力要比相應(yīng)的真空熱處理配置的油擴(kuò)散泵為大，前級(jí)泵為旋片式機(jī)械真空泵。為了減少粗抽時(shí)間，設(shè)置一臺(tái)合適的羅茨泵是必要的。
3．氣體強(qiáng)制循環(huán)冷卻裝置
為了提高生產(chǎn)率，縮短工件在爐內(nèi)冷卻時(shí)間，減少焊料中的硅向基體擴(kuò)散，同時(shí)避免在爐內(nèi)設(shè)置冷卻水管，故采用爐外循環(huán)冷卻方式，其結(jié)構(gòu)由真空風(fēng)機(jī)、熱交換器、氣動(dòng)插板閥、調(diào)節(jié)閥和管路組成。在必要時(shí)，氣動(dòng)插板閥可使該裝置與爐體隔離。
4．電氣控制部分
該部分設(shè)有六臺(tái)單相磁性調(diào)壓器供給六組發(fā)熱體電源之用。控制柜分為真空操作控制柜和溫度控制柜。真空操作控制柜設(shè)有圖示操作板，顯示真空系統(tǒng)的真空泵和閥的工作狀態(tài)。復(fù)合式真空計(jì)顯示爐內(nèi)真空度。真空繼電器是在爐內(nèi)真空度下降時(shí)自動(dòng)關(guān)閉主升溫裝置，供用戶需要時(shí)任意選用。
1．爐體部分
爐體由雙層碳鋼圓筒組成，前后設(shè)置兩個(gè)爐門，便于布置前后發(fā)熱體及爐內(nèi)清潔之用。加熱室由奧氏體不銹鋼的框架及隔熱屏構(gòu)成。發(fā)熱體由鎳鉻電阻材料制造，由氧化鋁陶瓷支承并固定在框架上。隔熱屏由奧氏體不銹鋼薄板制造，并應(yīng)解決在高真空下抽氣及高溫下薄板因熱膨脹變形問(wèn)題。前后發(fā)熱體及隔熱屏分別固定在各自的爐門上。六個(gè)面的發(fā)熱體分別由六組單相電源供電，當(dāng)爐內(nèi)工件質(zhì)量分布不勻時(shí)，可根據(jù)不同需要供給不同功率。為了防止氧化鎂或鎂蒸氣進(jìn)入真空系統(tǒng)，在爐體和真空系統(tǒng)連接處設(shè)置鎂捕集器。
2．真空系統(tǒng)
由于真空鋁釬焊爐冷爐真空度要求達(dá)到10-4Pa，工作真空度要求10-3Pa，所以，用油擴(kuò)散泵作主泵是合適的，但其抽氣能力要比相應(yīng)的真空熱處理配置的油擴(kuò)散泵為大，前級(jí)泵為旋片式機(jī)械真空泵。為了減少粗抽時(shí)間，設(shè)置一臺(tái)合適的羅茨泵是必要的。
3．氣體強(qiáng)制循環(huán)冷卻裝置
為了提高生產(chǎn)率，縮短工件在爐內(nèi)冷卻時(shí)間，減少焊料中的硅向基體擴(kuò)散，同時(shí)避免在爐內(nèi)設(shè)置冷卻水管，故采用爐外循環(huán)冷卻方式，其結(jié)構(gòu)由真空風(fēng)機(jī)、熱交換器、氣動(dòng)插板閥、調(diào)節(jié)閥和管路組成。在必要時(shí)，氣動(dòng)插板閥可使該裝置與爐體隔離。
4．電氣控制部分
該部分設(shè)有六臺(tái)單相磁性調(diào)壓器供給六組發(fā)熱體電源之用。控制柜分為真空操作控制柜和溫度控制柜。真空操作控制柜設(shè)有圖示操作板，顯示真空系統(tǒng)的真空泵和閥的工作狀態(tài)。復(fù)合式真空計(jì)顯示爐內(nèi)真空度。真空繼電器是在爐內(nèi)真空度下降時(shí)自動(dòng)關(guān)閉主升溫裝置，供用戶需要時(shí)任意選用。
