D30型輝光離子氮化爐結(jié)構(gòu)
圖10-121是離子氮化爐的示意圖。
整個裝置由供氨系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)、供電系統(tǒng)四部分組成。
?、俟┌毕到y(tǒng)。氨氣瓶1內(nèi)盛有液態(tài)氨。工作時將氨氣閥門2打開，經(jīng)穩(wěn)壓進(jìn)入LZB -6型浮子式流量計3。根據(jù)真空室要求氨氣壓力大小，調(diào)節(jié)流量計閥門4控制氨的流量。氨氣經(jīng)過氨氣管路進(jìn)入真空室內(nèi)。
要求供氨系統(tǒng)氣源壓力穩(wěn)定，進(jìn)氣閥調(diào)節(jié)靈活。
②真空系統(tǒng)。真空系統(tǒng)包括真空室（輝光室），由真空泵21、放氣閥18、真空蝶閥19、電磁閥20、排氣管等部分組成。真空室采用雙層水冷結(jié)構(gòu)。在真空罩和爐基之間用橡膠墊密封。工作時啟動真空泵(2X-15型)將真空室抽到要求的真空度，廢氣從排廢氣管排出。
③測量系統(tǒng)。包括測量溫度、測量壓力和測量電流電壓部分。通過它們能反映出氮化處理情況。溫度測量用熱電偶16，把它插入陰極底盤部，通過連接導(dǎo)線或者熱電偶補(bǔ)償導(dǎo)線接到XCT - 101調(diào)節(jié)式毫伏計上，來實(shí)現(xiàn)對工件溫度的測量。當(dāng)壓力低于1.3×102Pa時，由熱偶規(guī)通過熱偶真空計14測量；當(dāng)壓力在1.3×102Pa~1.3×103Pa時，由U型管水銀壓力計進(jìn)行測量。
?、芄╇娤到y(tǒng)。供電系統(tǒng)即電源部分。它由三相變壓器、整流器、電感、電容、振蕩滅弧等部分組成，輸入電壓為交流380V，輸出為高壓直流脈動電流，z*大輸出電壓為1000V，z*大輸出電流為30A。
整個裝置由供氨系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)、供電系統(tǒng)四部分組成。
?、俟┌毕到y(tǒng)。氨氣瓶1內(nèi)盛有液態(tài)氨。工作時將氨氣閥門2打開，經(jīng)穩(wěn)壓進(jìn)入LZB -6型浮子式流量計3。根據(jù)真空室要求氨氣壓力大小，調(diào)節(jié)流量計閥門4控制氨的流量。氨氣經(jīng)過氨氣管路進(jìn)入真空室內(nèi)。
要求供氨系統(tǒng)氣源壓力穩(wěn)定，進(jìn)氣閥調(diào)節(jié)靈活。
②真空系統(tǒng)。真空系統(tǒng)包括真空室（輝光室），由真空泵21、放氣閥18、真空蝶閥19、電磁閥20、排氣管等部分組成。真空室采用雙層水冷結(jié)構(gòu)。在真空罩和爐基之間用橡膠墊密封。工作時啟動真空泵(2X-15型)將真空室抽到要求的真空度，廢氣從排廢氣管排出。
③測量系統(tǒng)。包括測量溫度、測量壓力和測量電流電壓部分。通過它們能反映出氮化處理情況。溫度測量用熱電偶16，把它插入陰極底盤部，通過連接導(dǎo)線或者熱電偶補(bǔ)償導(dǎo)線接到XCT - 101調(diào)節(jié)式毫伏計上，來實(shí)現(xiàn)對工件溫度的測量。當(dāng)壓力低于1.3×102Pa時，由熱偶規(guī)通過熱偶真空計14測量；當(dāng)壓力在1.3×102Pa~1.3×103Pa時，由U型管水銀壓力計進(jìn)行測量。
?、芄╇娤到y(tǒng)。供電系統(tǒng)即電源部分。它由三相變壓器、整流器、電感、電容、振蕩滅弧等部分組成，輸入電壓為交流380V，輸出為高壓直流脈動電流，z*大輸出電壓為1000V，z*大輸出電流為30A。
