銅的真空退火極易取得潔凈的光亮表面，而且所需的真空度在133Pa以下即可，同時(shí)退火溫度是在350℃—600℃的低溫范圍，所以爐子的制造和維護(hù)也很簡單。使用油封機(jī)械泵和機(jī)械增壓泵即可獲得所需的真空度。一旦排氣結(jié)束后，立即將真空泵與真空爐切斷，因此無需高的真空技術(shù)，操作簡單，設(shè)備費(fèi)用低廉。銅在真空退火時(shí)，工件表面互相接觸，處于受壓狀態(tài)，在其接觸面上由于銅原子的擴(kuò)散會(huì)產(chǎn)生銅原子集聚的現(xiàn)象，所以退火溫度希望盡量低些。