防冷焊評價(jià)試驗(yàn)設(shè)備原理如圖10-70所示，主要由三部分組成：
　　
　　①預(yù)抽氣機(jī)組：由機(jī)械泵、F-450渦輪分子泵、低真空閥、液氮冷阱、活性氧化鋁擋油阱和超高真空閥組成。
　　
　　②主抽氣機(jī)組：包括兩個(gè)升華泵，抽速分別為5000L/s和1800L/s;兩個(gè)濺射離子泵抽速分別為400L/s和200L/s。
　　
　?、酃ぷ魇遥河行Э臻g為552mm×700mm，由不銹鋼制成。室內(nèi)有工作臺和測溫控元件。真空室一側(cè)和前法蘭各裝有玻璃觀察窗，頂部和另側(cè)裝有30芯的電引線法蘭各一個(gè)。另外還備有高壓和高頻引線法蘭及四極質(zhì)譜接口。